設備特點：
HV低真空吸塵系統，本系統採用負壓吸收無塵室內產生的固體顆粒粉塵，再通過管道輸送到室外收集粉塵、淨化空氣，從而達到無塵室的潔淨度。
含粉塵的空氣由風管進入HV，經濾材過濾後吸入風機，乾淨空氣由煙囪排放到大氣。收集下來的灰塵落入集塵桶。
